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你了解什么是FAB無塵室嗎?

來源:m.jhgyzd.com      發(fā)布日期: 2023年04月27日
現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會(huì)有自己的英文名稱,為了提高辨識(shí)及分辨度,它們都會(huì)作出一個(gè)首字母的簡(jiǎn)稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是什么意思?下面小編來為大家解答。
現(xiàn)在很多產(chǎn)品或者行業(yè)都會(huì)有自己的英文名稱,為了提高辨識(shí)及分辨度,它們都會(huì)作出一個(gè)首字母的簡(jiǎn)稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是什么意思?下面小編來為大家解答。
FAB無塵室是芯片生產(chǎn)加工的凈化車間的一般稱呼。tsmc、中芯國(guó)際的生產(chǎn)線都叫fab。凈化車間不一樣等級(jí)氣體潔凈度等級(jí)的空氣過濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn):針對(duì)300000級(jí)空氣過濾解決,可選用亞高效送風(fēng)口替代高效送風(fēng)口;氣體潔凈度等級(jí)100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣過濾解決,應(yīng)選用初、中、高效送風(fēng)口三級(jí)過濾裝置。
半導(dǎo)體材料(FAB)凈化室中空氣濕度的目標(biāo)大概操縱在30至50%的范疇內(nèi),容許偏差在±1%的狹小的范疇內(nèi),比如光刻技術(shù)區(qū)──或是在遠(yuǎn)紫外光解決(DUV)區(qū)乃至更小──而在別的地區(qū)則能夠釋放壓力到±5%的范疇內(nèi)。
以上就是小編為大家介紹的“FAB無塵室”,希望能對(duì)您有所幫助。它只是一個(gè)英文單詞的縮寫,簡(jiǎn)稱FAB,含義就是芯片加工的車間,對(duì)于行業(yè)來說非常重要。
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